Российский технологический университет МИРЭА при поддержке Фонда инфраструктурных и образовательных программ Группы РОСНАНО подготовил дополнительную образовательную программу профессиональной переподготовки «Химические технологии в наноэлектронике».

Программа предназначена для профессиональной переподготовки научных и инженерно-технических работников, которым необходимы знания физико-химических свойств материалов наноэлектроники и химических технологий получения структур с высокой степенью интеграции. Слушатели получат представление о современных инструментах оптимизации технологических процессов. Их обучат методам вакуумно-плазменного травления и физико-химического осаждения слоев в технологии производства изделий наноэлектроники. Будет представлен опыт применения методов растровой электронной микроскопии (РЭМ) и растровой ионной микроскопии (РИМ) для исследования структуры и анализа материалов в наноэлектронике. На обучение могут быть зачислены специалисты с высшим техническим образованием.

Инициатор создания образовательной программы НПП «Пульсар» — крупнейшее предприятие России в области разработки и производства высокоскоростных микросхем. У компании появилась потребность в повышении квалификации специалистов по плазмохимическим технологиям и анализу поверхности и структуры материала с использованием методов растровой ионной микроскопии. Кроме того, предприятию требуются не только специалисты, занятые на производстве, но и проектировщики, способные развивать имеющиеся технологии, приспосабливать их под потребности новых заказчиков.

В ходе подготовки программы ею также заинтересовались в нефтехимической компании СИБУР и НПК «Эконикс-Эксперт», которая разрабатывает и производит электрохимические приборы для целей сертификации продукции, аналитического и лабораторного контроля, научно-исследовательской работы. СИБУРу потребовались специалисты для работы с оборудованием по модификации эластомеров и полимеров.

«Пока это направление к наноэлектронике не имеет прямого отношения, но в перспективе 15–20 лет будет гарантированно востребовано», — убежден директор Учебно-научного объединения «Электроника» МИРЭА, руководитель авторского коллектива разработчиков программы Владимир Шишкин.

В итоге в программе появилось три модуля, рассчитанных до 350 часов. Для апробации были сформированы три группы по десять человек в каждой.

Образовательная программа, созданная при поддержке Фонда, стала стержнем новой магистерской программы МИРЭА «Химические технологии материалов наноэлектроники и альтернативной энергетики», первый набор на которую университет намерен начать в этом году. Есть также планы расширения программы, например, за счет добавления главы по гидрофобности поверхности и модуля по нановорсистым электродам.

После апробации программы МИРЭА намерен начать прием других слушателей на коммерческой основе.