6 апреля 2022
—
заканчивается
6 июня 2022
Проект
Разработчик
Общество с ограниченной ответственностью «Чистые технологии»
Технический комитет
Международные аналоги
Настоящий стандарт идентичен международному стандарту ИСО 14644-14:2016 «Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 14. Оценка пригодности оборудования к использованию по концентрации аэрозольных частиц» (ISO 14644-14:2016 «Cleanrooms and associated controlled environments. Part 14: Assessment of suitability for use of equipment by airborne particle concentration », IDT).
Описание
Настоящий стандарт устанавливает методику оценки пригодности оборудования (например, технологического оборудования, контрольно-измерительных приборов, частей и инструментов) к использованию в чистых помещениях и связанных с ними контролируемых зонах по концентрации аэрозольных частиц в соответствии с ИСО 14644-1. Размер частиц находится в пределах от 0,1 мкм до 5 мкм согласно ИСО 14644-1.
1 обсуждение
Публичное обсуждение проекта продлится до 6 июня 2022 г.
Настоящий стандарт входит в комплекс стандартов по чистым помещениям и контролю загрязнений. Данный комплекс стандартов устанавливает требования к классификации чистых помещений, метолам испытаний, текущему контролю, проектированию, строительству и вводу в эксплуатацию, к эксплуатации чистых помещений, изолирующим устройствам, энергоэффективности и др.
Важным условием работы чистых помещений является низкое выделение загрязнений установленным в нем оборудованием. До настоящего времени отсутствовали, которые регламентировали бы пригодность оборудования к работе в чистых помещениях.
Предлагаемый проект стандарта устраняет этот пробел.