Идентичен международному стандарту ИСО 14644-12:2018 «Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 12. Требования к текущему контролю чистоты воздуха по концентрации частиц с размерами в нанодиапазоне» (ISO 14644-12:2018 «Cleanrooms and associated controlled environments. Part 12: Classification of air cleanliness by nanoscale particle concentration», IDT)

Стандарт устанавливает классификацию чистоты воздуха по концентрации аэрозольных частиц в нанодиапазоне. Для целей классификации используются только частицы с пороговым размером 0,1 мкм (100 нм) и ниже.

Классификация, представленная в стандарте, применима, в основном, для эксплуатируемого состояния. Классификация, представленная в настоящем стандарте, является экстраполяцией уравнения классификации по ИСО 14644-1 для наноразмеров (<100 нм).